國內空分設備制造業是新中國成立后建立和發展起來的新興產業。空分設備60年的發展經歷了模仿、技術引進、自主研發和快速發展四個階段。

階段一:20世紀50年代至70年代，我國空分設備制造業從模仿和自力更生開始，逐步建立起空氣分離設備制造體系。1953年，哈爾濱機械廠成功試制出兩套30Nm3/h(氧氣)高壓工藝空分設備，結束了我國不能空分設備制造的歷史。現階段，我國空分設備制造業經歷了以下幾個階段:仿石材再生器切換過程、鋁帶再生器切換過程、板翅式換熱器切換過程等。主要產品等級為1000、3350和6000Nm3/h空分設備。但當時的設備存在著產品產量和純度難以達標、能耗高、可靠性差等各種缺點。

        階段二:20世紀70年代末至80年代，通過引進歐洲大型空分設備的設計和制造技術，我國大中型空分設備的設計和制造水平迅速提高，空分流程向分子篩吸附全低壓流程推進。在此期間，空分設備的等級主要是6000和10000 Nm3/h，用戶多為冶金企業。1985年，我國設計制造的增壓透平膨脹機應用于一套1200 Nm3/h(氮氣)液化設備，為增壓透平膨脹機在空分設備中的廣泛應用積累了初步經驗。

         階段三：20世紀90年代，我國空分設備制造業在引進、消化、吸收國外技術的基礎上，自主研發了新一代大膨脹率增壓透平膨脹機、常溫分子篩純化、規整填料蒸餾塔技術、全精餾(無氫)制氬工藝的空分設備。國內企業突破了空分設備設計技術中工藝組織、工藝計算、精餾計算等難點，掌握了空分設備設計制造的全部技術要領。擁有自主知識產權，國產空分設備的產量、純度、氧氣提取率、單位氧氣能耗等技術參數達到世界一流水平，國產空分產品規格從1萬nm3/h提高到1.5萬Nm3/h，期間林德等知名企業看好中國大型空分設備市場，先后引進2萬、3萬、6萬Nm3/h大型空分設備。

         階段四：2000年后，中國空分設備行業發展迅速，一大批國家空分設備制造商跟上了世界空分技術發展的步伐。通過自主創新和自主研發，開發出適用于冶金、石化和新型煤化工的不同內壓縮工藝的大型空分設備。設備規格從2萬Nm3/h迅速提高到8 ~ 12萬Nm3/h，滿足了國民經濟發展的需要。空分行業經過幾十年的大發展，已經達到了前列的階段，國內空分的技術性能指標已經接近甚至達到了國外水平。